質量流量控制器  型號:D07-11C

D07-11C是熱式質量流量計，質量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以控制氣體的質量流量，質量流量計（MFM）可以測量氣體的質量流量。D07-11產(chǎn)品高耐壓10MPa。
質量流量控制器  型號:D07-11C

質量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為 MFM) 用于對氣體的質量流量進行測量；質
量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行測量
和控制。它們在半導體微電子工業(yè)、特種材料研制、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥和
真空等多種領域的科研和中有著重要的應用。其典型的應用場合包括: 電子工藝設備,
如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入; 以及真空鍍膜設備、光纖熔
煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。
D07 系列質量流量控制器和質量流量計具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟
動、穩(wěn)定、工作壓力范圍寬等特點(可以在高壓或真空條件下工作), 其操作使用方便,
可任意位置安裝, 并便于與計算機連接實現(xiàn)自動控制。
D07 系列質量流量控制器和質量流量計一般與 D08 系列流量顯示儀等產(chǎn)品配套使用
特點
　　• 高耐壓性
　　• 橡膠密封、模擬電路的MFC
　　• 采用DB15型電插頭，標準機械接頭
　　• CE，兼容
質量流量控制器  型號:D07-11C

技術參數(shù)
類型：D07-11C
流量規(guī)格：( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM
準確度：±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)
線性：±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)
重復精度：±0.2 %F.S
響應時間：電特性:10sec 氣特性:≤4sec
大工作壓力：10 MPa
氣壓降：-
工作壓差范圍：≤10SLM (0.2 ~ 0.8) MPa
＞10SLM (0.2 ~ 0.6) MPa
耐壓：10 MPa
工作環(huán)境溫度：5 ℃ ~ 45 ℃
輸入輸出信號：0 V ~ +5.00 V
(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)
電源：+15 V 50 mA，-15V 200 mA
重量：1.2kg